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8 신뢰성평가 열충격기(Thermal Shock Test Chamber) WEISS TS 130 윤주봉 031-290-5643  
7 미세구조분석 EPMA Shimatz EPMA1600 장옥준 031-299-6731  
6 미세구조분석 ESEM(환경주사전자현미경) Philips XL30 ESEM-FEG 장옥준 031-299-6731 보기
5 공정 3inch sputtering system A-tech AT-35 김윤식 031-299-6606  
4 계측 Nano spec Nanometrics 210VT 김윤식 031-299-6606  
3 공정 E-beam Lithography System Raith ELPHY Plus 김윤식 031-299-6606  
2 공정 Reactive Ion Etching System STS ICP(ASE-HR) 김윤식 031-299-6606  
1 공정 E-beam Evaporator System AT-760 김윤식 031-299-6606  
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